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昭信半导体与中科院某研究所达成合作协议:老款科研型MOCVD升级改造

发布日期:2015-11-06

      祝贺昭信半导体与中科院某研究所达成了合作协议!本次合作内容为对研究所一台MOCVD设备的流场及附带硬件和管路进行改造升级,提高设备均匀性和重复性。该款科研型MOCVD设备的三族源气体是通过三路管路注入腔体,五族源气体是通过两路管路注入腔体,外延均匀性由每一路三族源及五族源气体进气流量进行调节,导致影响外延均匀性的参数多,工艺窗口小,科研研究中新工艺的均匀性难以控制,影响各项研究的进展。

      双方于日前达成合作协议,由昭信半导体提供全套解决方案,对设备的流场及附带硬件和管路进行改造升级,提升设备性能。

      昭信半导体坚持以优良的产品和服务融入科研高校,在客户中引起强烈共鸣和反响,客户充分肯定和认可昭信半导体在MOCVD设备领域的设计和改造能力。