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高温MOCVD

                        

产品介绍:

设备采用了片状与钨丝融合的加热器设计,石墨盘表面温度可达1400℃以上,可以快速升温至目标温度并锁定,在目标
温度范围内稳定工作。采用全金属结构以抑制加热器高温变形,提高加热器使用寿命,减少维护需求。设备具有响应迅
速的报警系统与完善的断电保护措施,在故障或突发断电时实施有效保护,防止急剧降温造成设备损坏或其他事故

 

型号:BDS 3*2",6*2",37*2"。可按用户需求定制各类高温薄膜材料制备设备
应用领域:AlN、紫外LED、电力电子器件等化合物半导体材料制备。

 

技术特性:
* 工作温度:盘面最高工作温度可达1400℃以上
* 高均匀性:三区盘面温度均匀性在1℃以内
* 高重复性:同一升温配方,盘面温度重复性在2℃以内
* 高可靠性:全金属结构更好抑制加热器高温变形,提高加热器寿命

 

质量保证:
1、设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。
保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
2、在设备使用过程中如遇故障,我们将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
3、提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
4、由技术人员提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
5、可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、
随机工具等)。

 

昭信半导体承诺:所有设备出厂前均经过严格的质量检测与功能调试,您可放心选用。